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    随着半导体工业、精细化工和光电工业的发展,产生了对的需求。例如,半导体生产工艺需要使用99.999%以上的高纯氢。但是工业上各种制氢方法所得到的氢气纯度不高,为满足工业上对各种高纯氢的需求,必须对氢气进行进一步的纯化。氢气的纯化方法大致可分为两类(物理法和化学法), 氢气方法主要有低温吸附法,低温液化法,金属氢化物氢净化法;此外还有钯膜扩散法,中空纤维膜扩散法和等六种方法。